Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 61 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Щука А.А. Наноэлектроника. – М.: Физматкнига, 2007.

– 464 с.

2. Головин Ю.И. Введение в нанотехнику. – М.:

Машиностроение, 2007. – 496 с.

3. Орликовский А.А. Кремниевая транзисторная

наноэлектроника / Известия вузов. Электроника. – 2006. – № 5. –

С. 35-44

4. Intenational Technology Roadmap for Semiconductors // –

San Jose: Semiconductor Industry Association, 1998. – 358 р.

5. Валиев К.А., Лукичев В.Ф., Орликовский А.А.

Кремниевая наноэлектроника: проблемы и перспективы /

Нанотехнологии и материалы. – 2005. – № 1. – С. 17-29.

6. Валиев К.А. Физика субмикронно литографии. – М.:

Наука, 1990. – 528 с.

7. Асеев А.Л. Нанотехнологии в полупроводниковой

электронике. – Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2004. – 368 с.

8. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические

основы электронной и ионной технологии. – М.: Высшая школа,

1984. – 320 с.

9. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов.

Методы исследования и контроля. – М.: Техносфера, 2006. – 384 с.

10. Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии. – М.: Техносфера,

2007. – 376 с.