Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 16 стр.

                                        16
заданной       энергии        можно                      воспользоваться
аппроксимирующими полиномами (раздел 1, задание 1).
  Максимальная граница по энергии может быть принята равной энергии, при
которой x j ≅R p , т.е. в данном случае E 2 ≅100 кэВ.
  Для вычисления энергии и дозы имплантации по предложенному в данном
разделе алгоритму составлена программа PR2.

  Program PR2(input,output);
        const pi=3.145926; eps=0.001;
        var xj,q,es,e1,e2,nm,ni,z:real;
   function log(x:real):real;
     begin log:=ln(x)/2.3 end;
   function rp(e:real):real;
            var y:real;
      begin
       y:=log(e); y:=0.613+0.8786*y+0.0773*y*y-0.0262*y*y*y;
       y:=y*2.3; rp:=exp(y)*1e-7 end;
   function drp(e:real):real;
         var y:real;
    begin
      y:=log(e); y:=0.482+0.8594*y-0.0616*y*y-0.0135*y*y*y;
      y:=y*2.3; drp:=exp(y)*1e-7 end;
   function fi(e:real):real;
         var y,y1:real;
      begin
        y:=rp(e); y1:=drp(e);
       fi:=rp(e)+drp(e)*sqrt(2*ln(nm/ni) end;
  BEGIN
  xj:=3.0e-5; nm:=1e17; ni:=1/(1.6*0.13*7.5)*1e15;
  e1:=0.0; e2:=100.0;
   repeat
     es:=(e1+e2)/2.0; z:=fi(es);
      if xj<=z then e2:=es else e1:=es;
   until abs((xj-z)/(xj+z))<=eps;
         q:=sqrt(2.0*pi)*nm*drp(es);
  writeln; writeln(' энергия имплантации равна ',es:6:2,' кэВ');
  writeln(' доза имплантации равна ',q:9,' см-2'); writeln
  END.

  В результате решения получим:
  энергия имплантации равна 46.48 кэВ;
  доза имплантации равна 1.2·1012 см-2.