Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 7 стр.

                                          7
procedure phosphorus(E:real; var                  Rp,dRp:real); {вычисление   норм.
пробега и страгглинга для фосфора}
  begin
z:= ln(E)/ln(10);
Rp:=0.682+0.1861*z+0.3769*z*z-0.0581*z*z*z;
dRp:=0.401+0.2209*z+0.3478*z*z-0.0711*z*z*z;
   Rp:=exp(Rp*ln(10));
    dRp:=exp(dRp*ln(10));
   Rp:=Rp*1e-7;
    dRp:=dRp*1e-7 end;
begin
  repeat
3:           writeln('         ');
write('         ',’Исходная подложка: n-типа (N) или p-типа(P)? ‘);
readln(tip);
    write('              ',’удельное сопротивление в Ом*см ? ‘);
 readln(ro);
    if tip=’N’ then m:=1450 else m:=500; Ni:=1/(e*ro*m);
  repeat
    writeln('               ');
    for i:=1 to 10 do writeln(‘ ‘);
           write('                ',’Базовая имплантация: ’);
  write('           ',’бор (В), фосфор (Р) или другая примесь (D) ? ’);
 readln(o);
    write('                  ',’энэргия имплантации в кэВ ? ‘);
readln(Eb);
    if o=’D’ then begin
         write(‘         тип примеси (N/P)? ‘); readln(tipb);
         write(‘         нормальный пробег в см? ‘); readln(Rpb);
         write(‘         страгглинг норм. пробега в см? ‘);
          readln(dRpb); end else
           if o=’B’ then begin tipb:=’P’; boron(Eb,Rpb,dRpb); end
                       else begin tipb:=’N’; phosphorus(Eb,Rpb,dRpb); end;
     write(‘ доза имплантации в мкКл/см2 ? ‘);
       readln(Qb); Qb:=Qb*6.25e12;
     if tip=tipb then begin
                   writeln(‘ !!! Эмиттерного перехода не образуется ‘);
         writeln(‘       Введите новую примесь (N) ‘);
         write(‘                 или выход из программы (E) ? ‘);
          readln(ans) end
                else ans:=’A’;
  until ans<>’N’;
     if ans=’E’ then goto 1;
  repeat