Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 8 стр.

UptoLike

8
writeln(' ');
for i:=1 to 10 do writeln( );
write(' ',Эмиттерная имплантация: );
write(' ',бор (В ), фосфор (Р ) или другая примесь (D) ? );
readln(o);
write( энэргия имплантации в кэВ ? ); readln(Ee);
if o=D then begin
write( тип примеси (N/P)? ); readln(tipe);
write( нормальный пробег в см ? ); readln(Rpe);
write(страгглинг норм . пробега в см ? );
readln(dRpe); end
else if o=B then begin tipe:=P; boron(Ee,Rpe,dRpe); end
else begin tipe:=N; phosphorus(Ee,Rpe,dRpe); end;
write( доза имплантации в мкКл/см 2 ? );
readln(Qe); Qe:=Qe*6.25e12;
if tipe=tipb then begin
writeln( !!! Коллекторного перехода не образуется );
writeln( Введите новую примесь (N) );
write( или выход из программы (E) ? );
readln(ans) end else ans:=A;
until ans<>N;
if ans=E then goto 1; writeln;
if (Rpb>Rpe) and (Qb<Qe) then begin xmax:=3*Rpb;
junc_e(xje);
if xje=-1 then begin writeln( !!! Эмиттерного перехода не образуется );
writeln( Введите новую структуру (N) );
write( или выход из программы (E) ? );
readln(ans); end ;
if ans=E then goto 1 else if ans=N then goto 3;
junc_k(xjk);
if xjk=-1 then begin
writeln( !!! Коллекторного перехода не образуется );
writeln( Введите новую структуру (N) );
write( или выход из программы (E) ? );
readln(ans); end;
if ans=E then goto 1 else if ans=N then goto 3;
h:=Xmax/20;
for i:=0 to 20 do begin x[i]:=i*h; point(x[i],N[i]); end;
writeln;
write( Выводить таблицу на экран ? (Y/N) );
readln(ans);
if ans in [Y,y,Ы’,ы’] then begin
writeln( -------------------------------------------------------------------);
writeln( | X, мкм | N, см -3 | Log(N) |);
                                              8
      writeln('             ');
      for i:=1 to 10 do writeln(‘ ‘);
      write('                 ',’Эмиттерная имплантация: ’);
      write('          ',’бор (В), фосфор (Р) или другая примесь (D) ? ’);
         readln(o);
      write(’             энэргия имплантации в кэВ ? ‘); readln(Ee);
      if o=’D’ then begin
                      write(‘            тип примеси (N/P)? ‘); readln(tipe);
                      write(‘            нормальный пробег в см? ‘); readln(Rpe);
           write(‘страгглинг норм. пробега в см? ‘);
            readln(dRpe); end
           else if o=’B’ then begin tipe:=’P’; boron(Ee,Rpe,dRpe); end
                  else begin tipe:=’N’; phosphorus(Ee,Rpe,dRpe); end;
       write(‘            доза имплантации в мкКл/см2 ? ‘);
       readln(Qe); Qe:=Qe*6.25e12;
       if tipe=tipb then begin
           writeln(‘      !!! Коллекторного перехода не образуется ‘);
           writeln(‘      Введите новую примесь (N) ‘);
           write(‘               или выход из программы (E) ? ‘);
             readln(ans) end else ans:=’A’;
  until ans<>’N’;
       if ans=’E’ then goto 1; writeln;
  if (Rpb>Rpe) and (Qb