Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 194 стр.

оптимизации этих трех важнейших параметров с помощью
коллимирующих сеток в МИИ обеспечивается высокая равномерность
плотности ионного тока (до 97 %) на площади диаметром до 50 см.
Поэтому в системах ионно-лучевого травления, использующих
источники подобного рода, нет необходимости вращать подложки с
целью повышения равномерности травления. Автономные ионные
источники с холодным катодом, а также источники магнетронного типа
обычно создают трубчатый поток ионов кольцевой (0-образной) формы
с весьма неравномерным радиальным распределением плотности
ионного тока. Диаметр области максимума интенсивности составляет 70
-80 мм, а ширина кольца, в пределах которого интенсивность потока
снижается в 2 - 3 раза, не превышает 30 мм. При столь значительной
неоднородности      ионного     потока    равномерность    травления
обеспечивается только использованием планетарной системы вращения
подложек. В простейшем случае держатель подложек перемещается по
окружности перед источником ионов в горизонтальной плоскости и
вращается вокруг собственной оси.
      Резюмируя вышесказанное, сформулируем еще раз достоинства и
недостатки ИЛТ. К числу достоинств ИЛТ относятся:
1. Высокое разрешение процессов, которое в настоящее время
   ограничено минимальными размерами элементов, получаемыми в
   органических резистивных масках, а не возможностями самого
   процесса.
2. Высокая равномерность травления.
3. Хорошая воспроизводимость всех основных параметров процесса
   травления от цикла к циклу.
4. Возможность управления процессом с помощью четырех легко
   измеряемых и контролируемых параметров (энергии, угла падения
   ионов, плотности ионного тока и давления), которые в используемом
   при ионно-лучевом травлении диапазоне давлений (10-2 - 10-3 Па) не
   зависят друг от друга.
5. Универсальность процесса, позволяющая проводить травление
   практически любого материала.
6. Возможность изменения профиля травления за счет изменения угла
   падения ионов.
7. Отсутствие загрузочного эффекта и влияния адсорбированных газов
   на    характер    протекания    процесса   травления,   поскольку
                                                      -4
   предварительно рабочая камера откачивается до р<10 Па.
      К числу недостатков ИЛТ относятся следующие факторы и
явления:
1. Низкая селективность травления материала относительно маски
   (особенно органической).
                                194