Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 2 стр.

УДК 621.382

Шутов Д.А., Ситанов Д.В. Процессы микро- и нанотехнологий : Лабораторный
практикум. Ч.2 / ГОУВПО Иван. гос. хим. – технол. ун-т. – Иваново, 2006. - 135 с.
ISBN 5-9616-0177-3.

      Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и
порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу «Процессы
микро- и нанотехнологий», входит в комплект базовых учебных пособий по данному
курсу, читаемому студентам специальности 210100 «Микроэлектроника и
твердотельная микроэлектроника» и посвящен изучению технологий очиcтки
материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также
фотолитографии, технологии изготовления МДП – интегральных микросхем и
планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных
транзисторах.
      Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое
введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы,
лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.
      При подготовке лабораторного практикума были использованы методические
рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ «Протон» г. Зеленоград.

     Печатается по решению редакционно-издательского совета               ГОУВПО
Ивановского государственного химико-технологического университета

                                 Рецензенты:
      кафедра математики, экономической информатики и вычислительной техники
Ивановского филиала Российского государственного торгового университета;
      доктор технических наук Н.А. Коробов (Ивановская государственная
текстильная академия)




ISBN 5-9616-0177-3                               © ГОУВПО
                                                 Ивановский государственный
                                                 химико-технологический
                                                 университет, 2006




                                         2