Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 39 стр.

                                            Внешний вид камер для испарения металла


Рис.7. Установка ПОРА-1М:
    1 – стеклянный колпак, 2 и 2’ – испарители для меди и алюминия соответственно;
3 и 3’ – подложкодержатели соответственно для меди и алюминия; 4 – диффузионный
насос; 5 – форвакуумный насос; 6 – кран вакуумной магистрали БАЙПАС; 7 – кран
«ВЫСОКИЙ ВАКУУМ»; 8 – кран «ФОРВАКУУМ»
     2. Нанесение пленок меди методом магнетронного распыления осуществляется
на установке, вакуумная схема которой показана на рисунке 8. Магнетронная
распылительная система смонтирована на металлическом фланце, соединенном с
вакуумной системой трубопроводом. Распылительная мишень (катод) толщиной 10
мм и диаметром рабочей части 50 мм изготовлена из меди вакуумной плавки и
закрепляется на корпусе магнетрона через резиновое уплотнение прижимным
фланцем. Постоянное магнитное поле создается магнитным блоком, состоящим из
центрального и периферических постоянных магнитов, закрепленных на основании
блока, в свою очередь изготовленного из магнитомягкого материала. Магнитный
блок создает над поверхностью катода магнитное поле порядка 0,02-0,05 Тл.
Составляющая этого поля параллельна плоскости катода. Мишень магнетрона имеет
принудительное охлаждение проточной водой. Анод изготовлен из латунной трубки
и также охлаждается проточной водой. Расстояние от катода до анода составляет 25
мм.
       Анод и корпус магнетрона закреплены на фланце с помощью изолированных
стоек (на схеме не показаны). Питание разрядной цепи магнетрона осуществляется
от источника постоянного тока с напряжением до 2000 В и максимальным током до
1 А. Подложкодержатель расположен от мишени на расстоянии, которое можно
менять в пределах от 35 мм до 90 мм. Подложки закрепляются на
подложкодержателе с помощью зажимов так, чтобы обеспечивался хороший
(равномерный)     тепловой     контакт   подложки     с    подложкодержателем.
Подложкодержатель имеет нулевой потенциал, то есть заземлен. Между
подложкодержателем и мишенью магнетрона расположен дополнительный
торообразный электрод диаметром 140 мм, изготовленный из меди. Медные трубки
                                       39