Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 40 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

40
охлаждения анода и мишени магнетрона, являющиеся одновременно
электрическими выводами этих электродов, изолированы от фланца керамическими
изоляторами и герметизированы клеем К-400. Вывод дополнительного электрода
также изолирован и герметизирован. Напуск атмосферного воздуха и рабочих газов
осуществляется через трубку, выходной конец которой расположен во фланце
магнетронного узла. Давление рабочего газа устанавливается с помощью натекателя.
Общий вид установки магнетронного распыления показан на рисунке 9, а
конструкция распылительной камеры – на рисунке 10.
Рис.8. Вакуумная схема установки магнетронного распыления:
1-объем с рабочим газом (хлорвиниловая емкость); 2-натекатель;
3-распылительная камера с магнетроном; 4-кран «ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС»;
5-диффузионный насос; 6-кран «ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС»; 7-кран «БАЙПАС»;
8-клапан напуска воздуха; 9-форвакуумный насос; 10-напуск воздуха в рабочую камеру;
11-трехходовой кран напуска рабочего газа (атмосферы).
Рис.9. Внешний
вид установки магнетронного
распыления 
охлаждения анода и мишени магнетрона, являющиеся одновременно
электрическими выводами этих электродов, изолированы от фланца керамическими
изоляторами и герметизированы клеем К-400. Вывод дополнительного электрода
также изолирован и герметизирован. Напуск атмосферного воздуха и рабочих газов
осуществляется через трубку, выходной конец которой расположен во фланце
магнетронного узла. Давление рабочего газа устанавливается с помощью натекателя.
Общий вид установки магнетронного распыления показан на рисунке 9, а
конструкция распылительной камеры – на рисунке 10.




Рис.8. Вакуумная схема установки магнетронного распыления:
1-объем с рабочим газом (хлорвиниловая емкость); 2-натекатель;
3-распылительная камера с магнетроном; 4-кран «ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС»;
5-диффузионный насос; 6-кран «ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС»; 7-кран «БАЙПАС»;
8-клапан напуска воздуха; 9-форвакуумный насос; 10-напуск воздуха в рабочую камеру;
11-трехходовой кран напуска рабочего газа (атмосферы).




                        Рис.9. Внешний вид установки магнетронного
                                        распыления



                                         40

Страницы