Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 41 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

41
Рис.10. Конструкция распылительной камеры:
1-стеклянный колпак; 2-подложкодержатель;3-подолнительный электрод; 4-анод;
5-переферийные магниты; 6-катод; 7-фланец; 8-центральный магнит; 9-корпус магнетрона;
10-основание магнитного блока.
3. Для оценки качества сцепления металлических пленок с подложкой
используется ультразвуковой дезинтегратор типа UD-20 (рисунок 11). Дезинтегратор
также может быть использован для смешивания, диспергирования, эмульгирования
и отмывки. Его принцип действия заключается в генерации ультразвуковой энергии
и введении ее в исследуемую среду. Введение энергии в исследуемую среду
осуществляется концентратором (сонотродом). Ультразвуковая энергия
вырабатывается в керамическом преобразователе типа «сандвич» питаемом от
генератора мощности непрерывной волной частотой около 22 кГц. Рабочая частота
автоматически поддерживается на резонансной частоте механических колебаний 
Рис.10. Конструкция распылительной камеры:
1-стеклянный колпак; 2-подложкодержатель;3-подолнительный электрод; 4-анод;
5-переферийные магниты; 6-катод; 7-фланец; 8-центральный магнит; 9-корпус магнетрона;
10-основание магнитного блока.
     3. Для оценки качества сцепления металлических пленок с подложкой
используется ультразвуковой дезинтегратор типа UD-20 (рисунок 11). Дезинтегратор
также может быть использован для смешивания, диспергирования, эмульгирования
и отмывки. Его принцип действия заключается в генерации ультразвуковой энергии
и введении ее в исследуемую среду. Введение энергии в исследуемую среду
осуществляется    концентратором     (сонотродом).    Ультразвуковая     энергия
вырабатывается в керамическом преобразователе типа «сандвич» питаемом от
генератора мощности непрерывной волной частотой около 22 кГц. Рабочая частота
автоматически поддерживается на резонансной частоте механических колебаний
                                         41

Страницы