Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 43 стр.

необходимый режим работы прибора и включается сетевой тумблер. Для анализа
результатов обработки необходимо точно зафиксировать время обработки. По
истечении необходимого времени – выключается сетевой тумблер, образцы
извлекаются и подвергаются анализу: либо визуальному осмотру, либо
рассмотрению под микроскопом. Перед тем как рассматривать образцы под
микроскопом, они должны быть высушены.
     4. В зависимости от вида задания студенту выдаются следующие материалы и
комплектующие:
- необходимое количество подложек для нанесения тонких металлических пленок;
- реактивы и отмывочные средства для очистки подложек (см. работа № 8);
- протирочный материал (фильтровальная бумага);
- навески напыляемых материалов;
- пинцет;
- комплект лабораторной посуды;
- секундомер;
- микроскоп.

       Требования к отчету
       Отчет должен содержать:
  1.   Титульный лист.
  2.   Цель работы.
  3.   Краткие теоретические сведения.
  4.   Протокол выполнения операций при работе на установках.
  5.   Результаты выполнения работы (образцы подложек с запыленными пленками,
       заполненные формы таблиц).
  6.   Выводы по работе, в которых должны быть отражены возможные причины
       возникновения брака при напылении пленок.

       Лабораторное задание
       Домашняя работа:
  1.   Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
  2.   Подготовить (выполнить) пункты 1 и 2 требований к отчету.
  3.   Изучить теоретическое введение и оформить его в виде пункта 3.
       Категорически запрещается копирование теоретического введения любыми
       средствами множительной техники. Схемы установок должны быть
       выполнены с использованием чертежных инструментов.
  4.   Подготовить формы таблиц (таблицы 1 и 2).
                                                                 Форма таблицы 1
                       Результаты лабораторных исследований
                                             Характеристики
        Номер                                 внешнего вида        Причины
                     Способ получения
       образца                                   (краткое      возможного брака
                                                описание)
          1.




                                       43