Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 44 стр.

                                                              Форма таблицы 2
                          Результаты обработки образцов
                 Время обработки
        Номер                          Режим         Характерные признаки
                  ультразвуком
       образца                      обработки УЗ    изменения внешнего вида
                     (УЗ), с
         1.

     Работа в лаборатории:
1. Проведение очистки подложек по одной из методик, предложенной
   преподавателем.
2. Нанесение на подложки тонких металлических пленок (по заданию
   преподавателя)
3. Анализ адгезионных характеристик и оценка качества полученных слоев на
   подложках.

       Порядок выполнения работы
              Вариант 1. Вакуумное напыление пленок на установке ПОРА-1М.
  1.   Получить у лаборанта (преподавателя) необходимое количество подложек и
       навески металла для установки ПОРА-1М.
  2.   Очистить поверхность подложек по методике, описанной в лабораторной
       работе №8 (пункт 4.2).
  3.   Подготовить установку ПОРА-1М и загрузить очищенные образцы в
       подложкодержатели. Для этого необходимо:
       - проверить первоначальное положение вакуумных кранов установки
       («НАПУСК ВОЗДУХА В НАСОС» – открыт; «БАЙПАС» – закрыт;
       «ФОРВАКУУМ» -           закрыт;     «ВЫСОКИЙ      ВАКУУМ» - закрыт;
       «НАТЕКАТЕЛЬ» - открыт);
       - снять защитную сетку со стеклянного колпака установки;
       - снять колпак и установить его на специальном держателе;
       - осторожно, не касаясь плоскости подложек руками, установить их в
       подложкодержатели установки ПОРА-1М и закрепить прижимами;
       - при необходимости добавить образец для испарения в тигель
       нагревательного элемента - медь в тигель с медью, а алюминий в тигель с
       алюминием;
       - протереть уплотнительную прокладку колпака изопропиловым спиртом,
       используя пинцет и вату;
       - установить стеклянный колпак по возможности как можно ровнее и затем
       установить защитную сетку.
       - установить водяным вентилем требуемый напор воды для охлаждения
       диффузионного насоса (помечен риской).
  4.   Включить питание установки на пульте управления.
  5.   Закрыть кран «напуск воздуха в насос» и включить кнопкой на панели
       управления установкой кнопку, запускающую форвакуумный насос.
  6.   Закрыть кран «НАТЕКАТЕЛЬ», открыть кран «БАЙПАС» и произвести
       предварительную откачку рабочего объема испарительных камер через
       магистраль байпаса.
  7.   Проверить факт начавшейся откачки объема под стеклянным колпаком
       (стрелка вакуумметра не должна быть в крайнем левом положении). Если
       откачка началась успешно можно продолжать выполнение работы.
  8.   Через 5-10 минут закрыть кран «БАЙПАС» и открыть краны
                                      44