Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 46 стр.

    подколпакового объема установки ПОРА-1М до давления 10-1 мм.рт.ст. через
    магистраль байпаса, соответственно открыв кран «БАЙПАС». После
    достижения давления в системе 10-1 мм.рт.ст. закрыть кран «БАЙПАС»,
    открыть краны «ФОРВАКУУМ» и «ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» и откачать
    систему диффузионным насосом до предельного вакуума (примерно до 10-4
    мм.рт.ст.). Далее можно приступать к напылению пленок на подложки (для
    этого повторите пункты 11-14 данного описания).
16. Порядок выключения установки ПОРА-1М.
    Если на все подложки, выданные преподавателем, пленки нанесены, то
    необходимо приступить к выключению установки ПОРА-1М. Для этого
    необходимо выполнить следующие действия:
    - еще раз проверить правильно ли установлены вакуумные краны: при
    разгерметизированном колпаке кран «НАТЕКАТЕЛЬ» - открыт, кран
    «ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» - закрыт, кран «БАЙПАС» - закрыт», кран
    «ФОРВАКУУМ» открыт и производится постоянная откачка диффузионного
    насоса, кран «НАПУСК ВОЗДУХА В НАСОС» - закрыт, так как работает
    форвакуумный насос;
    - кнопкой на панели управления выключить диффузионный насос, при этом
    соответствующая лампочка погаснет;
    - в таком состоянии, при непрерывной откачке диффузионного насоса
    форвакуумным насосом, установку следует выдержать в течение 30-40 минут
    с целью полного остывания диффузионного насоса;
    - далее необходимо закрыть кран «ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС», кнопкой на
    панели управления установкой ПОРА-1М выключить питание форвакуумного
    насоса и напустить воздух в форвакуумный насос, осторожно открыв кран
    «НАПУСК ВОЗДУХА В НАСОС»;
    - нажать красную кнопку полного выключения питания установки ПОРА-1М,
    перекрыть вентилем воду для охлаждения диффузионного насоса;
    - отключить от сети 220В блок питания испарителями.
17. Параллельно с остыванием диффузионного насоса произвести визуальный
    или под микроскопом (по заданию преподавателя) осмотр подложек с
    напыленными пленками. Результаты осмотра занести в таблицу формы 1.
18. В зависимости от задания преподавателя исследовать качество сцепления
    пленки металла с подложкой, используя ультразвуковой дезинтегратор UD-20
    (режим и время обработки подложек ультразвуком уточнить у преподавателя).
    Результаты исследований занести в таблицу формы 2.

         Вариант 2. Получение металлических пленок на подложках методом
                            магнетронного распыления.
1.   Получить у преподавателя необходимое количество подложек, очистить их от
     органических и неорганических примесей кипячением в концентрированном
     растворе кальцинированной соды, а затем протравить в течение 3-5 мин. в
     хромовой смеси. При необходимости оценить чистоту тестовой подложки по
     краевому углу смачивания.
2.   Установить чистую подложку на подложкодержателе рабочей камеры
     установки.
3.   Установить колпак рабочей камеры установки.
4.   Убедиться в наличии установленной емкости с рабочим газом (азотом).
5.   Включить и отрегулировать водяное охлаждение диффузионного насоса.
6.   Включить электропитание установки магнетронного распыления.
                                     46