Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 47 стр.

7. Проверить положение вакуумных кранов: «НАТЕКАТЕЛЬ» - закрыт,
    «БАЙПАС» - открыт, краны «ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС» и
    «ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС» - закрыты.
8. Тумблером «форвакуумный насос» включить форвакуумный насос установки
    магнетронного распыления. При этом загорится индикатор «форвакуумный
    насос включен».
9. Перекрыть кран «НАПУСК РАБОЧЕГО ГАЗА», полностью открыть
    «НАТЕКАТЕЛЬ» и откачать газовую магистраль до давления 10-1 мм.рт.ст.
    или 12 делений по шкале вакуумметра ВИТ-3.
10. При достижении давления в системе 10-1 мм.рт.ст. или 12 делений по шкале
    вакуумметра ВИТ-3 тумблером «диффузионный насос» включить
    диффузионной насос. При этом загорится индикатор «диффузионный насос
    включен».
11. Далее вакуумные краны привести в следующее положение: «БАЙПАС» -
    закрыт, краны «ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС» и «ДИФФУЗИОННЫЙ
    НАСОС» - открыты.
12. Откачать систему до предельного вакуума (примерно 90 делений по шкале
    вакуумметра ВИТ-3). Строго следить за напором воды.
13. При достижении требуемого разрежения в системе полностью закрыть
    «НАТЕКАТЕЛЬ» и переключить трехходовой кран «НАПУСК РАБОЧЕГО
    ГАЗА» на подачу рабочего газа (аргона).
14. Продолжить откачку системы до достижения предельного вакуума (примерно
    10-4 мм.рт.ст.), при этом стрелка вакуумметра отклонится в крайнее правое
    положение.
15. С помощью «НАТЕКАТЕЛЯ» установить требуемое давление рабочего газа в
    напылительной камере (желательно, чтобы оно было точно равно 8.10-2
    мм.рт.ст – 80 делений по шкале вакуумметра).
16. Включить тумблер «высокое напряжение». При этом включится индикатор
    «высокое напряжение включено».
17. Поворачивая ручку ЛАТРа установить требуемое напряжение зажигания
    разряда, при этом газовый разряд можно будет визуально наблюдать через
    прозрачное стекло колпака напылительной камеры. Рекомендуемый ток
    распыления мишени 100 мА (20 делений по шкале миллиамперметра). С этого
    момента начинается процесс распыления мишени и осаждение пленки на
    подложке.
18. После получения пленки нужной толщины напряжение на мишени ручкой
    ЛАТРа уменьшить до нуля. Выключить тумблер «высокое напряжение».
19. «Промыть» вакуумную распылительную камеру рабочим газом до остывания
    подложки, то есть после выключения разряда в течение 5 мин. не закрывать
    «НАТЕКАТЕЛЬ».
20. Закрыть НАТЕКАТЕЛЬ», перекрыть трехходовой кран «НАПУСК
    РАБОЧЕГО ГАЗА» и кран «ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС». Дать подложкам
    окончательно остыть в течение 3-5 мин.
21. Переключить трехходовой кран на подачу воздуха, полностью открыть
    «НАТЕКАТЕЛЬ» и напустить воздух под колпак распылительной камеры.
22. Снять стеклянный колпак, установить его на специальном держателе и
    извлечь подложки.
23. Если необходимо продолжить напыление пленок на другие предварительно
    очищенные подложки, то:
  - необходимо их установить на подложкодержателе, закрыть распылительную
                                    47