Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 45 стр.

    «ФОРМАКУУМ» и «ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» для предварительной откачки
    диффузионного насоса. ВНИМАНИЕ! Диффузионный насос никогда нельзя
    подключать к атмосфере, в противном случае он выйдет из строя.
9. При достижении давления в системе 10-1 мм.рт.ст. или 12 делений по шкале
    вакуумметра (положение отмечено красной риской) включить кнопкой на
    панели управления установкой ПОРА-1М диффузионный насос.
10. Откачать систему до предельного вакуума (примерно 10-4 мм.рт.ст., стрелка
    вакуумметра при этом будет в крайнем правом положении) и на протяжении
    всего процесса откачки и работы на установке ПОРА-1М следить за напором
    воды.
11. При достижении требуемого вакуума (примерно 10-4 мм.рт.ст.) произвести
    напыление пленок алюминия или меди. Для этого необходимо:
    - не изменяя положение вакуумных кранов подать напряжение на
    нагревательные элементы испарителей установки ПОРА-1М (перевести
    переключатель из вертикального положения в одно из положений «медь» или
    «алюминий» соответственно, включив предварительно блок питания
    испарителей в сеть 220В);
    - плавно увеличивать напряжение на испарителе ручкой «ЛАТРА»,
    смонтированной на верхней панели блока управления испарителями, до тех
    пор, пока не заметим слабое свечение раскалившегося нагревательного
    элемента испарителя;
    - увеличив еще напряжение на испарителе примерно на 10%, зафиксировать
    момент увеличения давления в системе (стрелка вакуумметра отклонится
    влево примерно на ¼ шкалы). Этот момент будет характеризоваться
    максимальной скоростью роста пленки на подложке;
    - сразу после увеличения давления в системе резко снять напряжение на
    испарителе до нуля (этот момент еще будет характеризоваться ростом пленки
    на подложке до момента остывания испарителя).
12. В таком положении подложки должны остыть практически до комнатной
    температуры (примерно в течение 15-20 минут). В противном случае после
    разгерметизации установки пленка металла на подложках окислится.
13. При необходимости дождаться откачки установки до прежнего разрежения
    (примерно 10-4 мм.рт.ст.) и по аналогии напылить пленку другого металла,
    используя второй испаритель (п.п.11 и 12);
14. Произвести разгерметизацию колпака установки и выгрузку подложек с
    напыленными пленками в следующей последовательности:
    - закрыть кран «ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» и проверить, закрыт ли кран
    «БАЙПАС», если он оказался открыт, то вы плохо изучили предыдущие
    пункты описания работы, и вам необходимо его закрыть.
    - плавно открывая кран «НАТЕКАТЕЛЬ» напустить воздух под колпак
    установки ПОРА-1М;
    - снять защитную сетку с колпака установки;
    - осторожно снять колпак, установив его на специальном держателе, и извлечь
    подложки с пленками из подложкодержателей, по возможности не касаясь
    плоскости подложек руками.
15. Если необходимо дальнейшее нанесение пленок на другие подложки, то
    необходимо их установить на подложкодержателе, далее по приведенной
    выше методике установить колпак и защитную сетку, предварительно
    протерев уплотнительное кольцо изопропиловым спиртом, закрыть кран
    «НАТЕКАТЕЛЬ» и «ФОРВАКУУМ» и произвести предварительную откачку
                                     45