ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
10
Современные электронные литографы позволяют не только
модифицировать поверхность ИМС, а также исследовать
морфологию поверхности ИМС, проводить контроль
технологического процесса при анализе структуры ИМС
методом электронной микроскопии без привнесения
радиационных дефектов в полупроводниковую структуру
исследуемых ИМС [9].
Наибольшее распространение получили установки ЭЛЛ с
накальными катодами из вольфрама или гексаборида лантана, а
также холодным полевым (или термополевым)
автоэмиссионным катодом. При использовании установки ЭЛЛ
с накальными катодами из вольфрама или гексаборида лантана
при снижении ускоряющего напряжения происходит уширение
электронного зонда, т.е. ухудшение разрешающей способности.
Установки ЭЛЛ с автоэмиссионной пушкой, с конструкцией в
которой поле объективной линзы выходит из полюсного
наконечника и, при больших увеличениях достигая образца,
препятствует уширению электронного зонда при выходе из
объективной линзы в результате электростатического
отталкивания электронов в зонде [10].
Из вышесказанного можно сделать вывод, что диаметры
электронных зондов указанных типов катодов сильно
отличаются, что приводит к различной разрешающей
способности. Для формирования структур ИМС с высокой
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
