Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 104 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

104
Рис. 3. К определению толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев с
помощью шарового щлифа (AB=H - хорда):
1 – микрометрическая линия окулярного микрометра;
2 – контур шарового шлифа, подготовленного к измерениям;
3 – граница раздела 2-х областей в кремнии, отличающихся типом
проводимости. 
Рис. 3. К определению толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев с
помощью шарового щлифа (AB=H - хорда):
1 – микрометрическая линия окулярного микрометра;
2 – контур шарового шлифа, подготовленного к измерениям;
3 – граница раздела 2-х областей в кремнии, отличающихся типом
    проводимости.




                              104

Страницы