Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 107 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

107
Таблица 2
Зависимость цвета термически выращенной пленки двуокиси кремния от ее толщины
Порядок
интерфе-
ренции
Толщина
пленки,
мкм.
Цвет пленки
Порядок
интерфе-
ренции
Толщина
пленки,
мкм.
Цвет пленки
1 0,05
0,07
0,10
0,12
0,15
0,17
0,20
0,22
0,25
0,27
Бежевый
Коричневый
Темно –фиолетовый
Голубой
Светло-голубой
Металлический
Светло –золотистый
Золотистый
Оранжевый
Красно – фиолетовый
3 0,47
0,48
0,49
0,50
0,52
0,54
0,56
0,57
0,58
0,60
0,63
Фиолетовый
Голубовато – фиолетовый
Голубой
Голубовато – зеленый
Зеленый
Темновато – зеленый
Зеленовато – желтый
Желтый
Светло – оранжевый
Телесно – розовый
Фиолетово – красный
2 0,30
0,31
0,32
0,34
0,35
0,36
0,37
0,39
0,41
0,42
0,44
0,46
Фиолетово – голубой
Голубой
Зелено – голубой
Светло-зеленый
Зеленый
Темно – зеленый
Зеленовато – желтый
Желтый
Светло – оранжевый
Телесно – розовый
Фиолетово – красный
Красно – фиолетовый
4 0,68
0,72
0,77
0,80
0,83
0,85
Голубоватый
Голубовато – зеленый
Желтоватый
Оранжевый
Желтовато – розовый
Светло – красновато – фиолетовый 
                                                                                                           Таблица 2

               Зависимость цвета термически выращенной пленки двуокиси кремния от ее толщины
Порядок    Толщина                                 Порядок    Толщина
интерфе-   пленки,              Цвет пленки        интерфе-   пленки,                     Цвет пленки
 ренции     мкм.                                    ренции     мкм.
    1       0,05     Бежевый                           3       0,47     Фиолетовый
            0,07     Коричневый                                0,48     Голубовато – фиолетовый
            0,10     Темно –фиолетовый                         0,49     Голубой
            0,12     Голубой                                   0,50     Голубовато – зеленый
            0,15     Светло-голубой                            0,52     Зеленый
            0,17     Металлический                             0,54     Темновато – зеленый
            0,20     Светло –золотистый                        0,56     Зеленовато – желтый
            0,22     Золотистый                                0,57     Желтый
            0,25     Оранжевый                                 0,58     Светло – оранжевый
            0,27     Красно – фиолетовый                       0,60     Телесно – розовый
                                                               0,63     Фиолетово – красный
   2        0,30     Фиолетово – голубой                  4    0,68     Голубоватый
            0,31     Голубой                                   0,72     Голубовато – зеленый
            0,32     Зелено – голубой                          0,77     Желтоватый
            0,34     Светло-зеленый                            0,80     Оранжевый
            0,35     Зеленый                                   0,83     Желтовато – розовый
            0,36     Темно – зеленый                           0,85     Светло – красновато – фиолетовый
            0,37     Зеленовато – желтый
            0,39     Желтый
            0,41     Светло – оранжевый
            0,42     Телесно – розовый
            0,44     Фиолетово – красный
            0,46     Красно – фиолетовый




                                                    107

Страницы