Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 116 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

116
Продолжение табл. П.1.
1 2 3 4 5 6
9 . Диффузия бора для
формирования
разделительных p -
областей:
а) 1-я стадия диффузии
(загонка примеси при
T=950
0
C );
б) удаление
боросиликатного стекла
(БСС) и SiO
2
;
в) 2-я стадия диффузии
(разгонка примеси с
одновременным
окислением пластин по
системе: сухой O
2
-
пары воды - сухой O
2
при T=1150
0
C ).
T , t , М
г
Внешний
вид , ρ
s
, X
j
Трехбромистый бор, азот
газообразный, кислород
газообразный, раствор для
выявления p-n перехода,
травильный раствор, спирт
этиловый ректификат, вода
деионизованная марки А; батист
отбеленный мерсеризованный.
Аналогично операции 4
10 . Фотолитография 3 для
вскрытия окон под
диффузию бора (перед
формированием
базовых
p-областей).
Аналогично операции 3 , а - з 
                                                                                            Продолжение табл. П.1.
1                  2                 3             4                        5                         6
9.     Диффузия бора для        T , t , Мг   Внешний Трехбромистый бор, азот
       формирования                          вид , ρs , Xj газообразный, кислород
       разделительных p -                                  газообразный, раствор для
       областей:                                           выявления p-n перехода,
       а) 1-я стадия диффузии                              травильный раствор, спирт
       (загонка примеси при                                этиловый ректификат, вода
       T=9500C );                                          деионизованная марки А; батист
       б) удаление                                         отбеленный мерсеризованный.
       боросиликатного стекла                                                                Аналогично операции 4
       (БСС) и SiO2;
       в) 2-я стадия диффузии
       (разгонка примеси с
       одновременным
       окислением пластин по
       системе: сухой O2 -
       пары воды - сухой O2
       при T=11500C ).
10 .   Фотолитография 3 для
       вскрытия окон под                                    Аналогично операции 3 , а - з
       диффузию бора (перед
       формированием
       базовых
       p-областей).




                                                      116

Страницы