Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 117 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

117
Продолжение табл. П.1.
1 2 3 4 5 6
11 . Диффузия бора для формирования
базовых p - областей:
а) 1-я стадия диффузии (загонка
примеси при T=950
0
C) ;
б) удаление БСС;
в) 2-я стадия диффузии
(разгонка примеси в сухом O
2
при
T=1150
0
C).
Аналогично операции 9
12 . Фотолитография 4 для вскрытия
окон под диффузию фосфора.
Аналогично операции 3 , а - з
13 . Диффузия фосфора для
формирования эмиттерных и
приконтактных коллекторных
n
+
- областей:
а) 1-я стадия (загонка примеси при
T=1000
0
C) ;
б) термообработка в сухом
кислороде (при T=1000
0
C).
T, t, М
г
Внешний
вид, ρ
s
, X
j
Хлорокись фосфора
(POCl
3
), кислород
газообразный, травильный
раствор, спирт этиловый
ректификат, вода
деионизованная марки А;
фильтр обеззоленный,
батист отбеленный
мерсеризованный.
Печь диффузионная типа ДОМ;
установка для измерения ρ
s
(четырехзондовая) типа ЦИУС;
микроскоп типа МИМ-7;
модуль (для травления пластин) из
линии хим. обработки
"Лада-Электроника"
14 . Фотолитография 5 для вскрытия
окон под контакты к элементам ИС.
Аналогично операции 3 , а - з . 
                                                                                                           Продолжение табл. П.1.

 1                        2                    3             4                   5                                 6
11 .   Диффузия бора для формирования
       базовых p - областей:
       а) 1-я стадия диффузии (загонка
       примеси при T=9500C) ;                                               Аналогично операции 9
       б) удаление БСС;
       в) 2-я стадия диффузии
       (разгонка примеси в сухом O2 при
       T=11500C).
12 .   Фотолитография 4 для вскрытия                                      Аналогично операции 3 , а - з
       окон под диффузию фосфора.
13 .   Диффузия фосфора для                 T, t, Мг   Внешний        Хлорокись фосфора          Печь диффузионная типа ДОМ;
       формирования эмиттерных и                       вид, ρs , Xj   (POCl3 ), кислород         установка для измерения ρs
       приконтактных коллекторных                                     газообразный, травильный   (четырехзондовая) типа ЦИУС;
       n+ - областей:                                                 раствор, спирт этиловый    микроскоп типа МИМ-7;
       а) 1-я стадия (загонка примеси при                             ректификат, вода           модуль (для травления пластин) из
       T=10000C) ;                                                    деионизованная марки А;    линии хим. обработки
       б) термообработка в сухом                                      фильтр обеззоленный,       "Лада-Электроника"
       кислороде (при T=10000C).                                      батист отбеленный
                                                                      мерсеризованный.
14 .   Фотолитография 5 для вскрытия
       окон под контакты к элементам ИС.
                                                                         Аналогично операции 3 , а - з .




                                                              117

Страницы