Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 119 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

119
Продолжение табл. П.1.
1 2 3 4 5 6
19 . Термообработка
пластин для
вжигания
металлизации
(при T=450
0
C).
T , t , М
г
Внешний вид Азот газообразный. Печь диффузионная типа
ДОМ;
микроскоп типа НУ-2Е.
20 . Функциональный
контроль и
разбраковка ИС.
Выходные
параметры
измерительных
установок.
Электрические
параметры ИС
*
.
Краска маркировочная,
спирт этиловый ректификат,
батист отбеленный
мерсеризованный.
Измерительные установки для
контроля и разбраковки ИС.
* Электрические параметры ИС - статические и динамические параметры по техническим условиям
Таблица П.2.
Основные операции технологического маршрута для изготовления структуры БИС на биполярных транзисторах
(Изделие 2 - 1051ХАЗ)
№№
п .п .
Наименование операции
Контролируемые
параметры
технологической
среды (ТС)
Контролируемые
параметры объекта
производства
Материалы технологических и
защитных сред
Технологическое
оборудование
1 2 3 4 5 6
1. Химическая обработка
пластин кремния (тип
КДБ-10) с целью очистки
их поверхности.
Время (t) обработки
в разных средах.
Температура (T)
ТС.
Внешний вид
пластин после
очистки (по
количеству
светящихся точек в
темном поле
микроскопа).
Толуол, смесь Каро*,
перекисно-аммиачная смесь;
вода деионизованная
марки А, кислота
фтористоводородная,
спирт этиловый ректификат;
батист отбеленный
мерсеризованный.
Линия "Лада-
Электроника" для хим.
обработки; микро
скоп,
например, типа НУ-
2Е. 
                                                                                                      Продолжение табл. П.1.
  1      2                               3               4            5                            6
 19 .    Термообработка             T , t , Мг       Внешний вид      Азот газообразный.           Печь диффузионная типа
         пластин для                                                                               ДОМ;
         вжигания                                                                                  микроскоп типа НУ-2Е.
         металлизации
         (при T=4500C).
 20 .    Функциональный          Выходные         Электрические Краска маркировочная,              Измерительные установки для
         контроль и             параметры        параметры ИС*. спирт этиловый ректификат,         контроля и разбраковки ИС.
         разбраковка ИС.      измерительных                      батист отбеленный
                                 установок.                      мерсеризованный.
* Электрические параметры ИС - статические и динамические параметры по техническим условиям

                                                                                                      Таблица П.2.
          Основные операции технологического маршрута для изготовления структуры БИС на биполярных транзисторах
                                                 (Изделие 2 - 1051ХАЗ)

                                     Контролируемые
                                                           Контролируемые
№№                                      параметры                             Материалы технологических и     Технологическое
                                                          параметры объекта
п .п .   Наименование операции       технологической                                защитных сред              оборудование
                                                             производства
                                        среды (ТС)
 1                   2                       3                     4                        5                         6
 1.      Химическая обработка      Время (t) обработки   Внешний вид          Толуол, смесь Каро*,          Линия "Лада-
         пластин кремния (тип      в разных средах.      пластин после        перекисно-аммиачная смесь;    Электроника" для хим.
         КДБ-10) с целью очистки   Температура (T)       очистки (по          вода деионизованная           обработки; микроскоп,
         их поверхности.           ТС.                   количеству           марки А, кислота              например, типа НУ-
                                                         светящихся точек в   фтористоводородная,           2Е.
                                                         темном поле          спирт этиловый ректификат;
                                                         микроскопа).         батист отбеленный
                                                                              мерсеризованный.
                                                               119

Страницы