Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 126 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

126
Продолжение табл. П.2.
1 2 3 4 5 6
21 . Фотолитография 7 для вскрытия
окон под диффузию фосфора
(перед формированием n
+
-областей).
Аналогично операции 3, а – з.
22 . Диффузия фосфора для
формирования n
+
-областей (эмиттер-
ных, коллекторных приконтактных
областей и n
+
-областей
инжекционных элементов):
а) 1-я стадия диффузии (загонка
примеси при T=950
0
C) ;
б) окисление в сухом O
2
(при повышении температуры в
рабочей зоне до T=1000
0
C).
T, t, М
г
Внешний
вид, ρ
s
,
X
j
,
h SiO
2
.
Хлорокись фосфора (POCl
3
),
кислород газообразный, азот
газообразный (или аргон), раствор
для выявления p - n перехода,
травильный раствор, спирт
этиловый ректификат, вода
деионизованная марки А; батист
отбеленный мерсеризованный,
фильтр обеззоленный, алмазная
паста (на основе тонкого
микропорошка).
Аналогично операции 4.
23 . Фотолитография 8 для вскрытия
окон под контакты к элементам БИС.
Аналогично операции 3 , а – з.
24 . Нанесение
(в вакууме)
1-го слоя металлизации.
p,
параметры,
определяю
щие режим
осаждения
слоя
металлизац
ии
Внешний
вид,
толщина
слоя
металлиза
ции.
Мишень из сплава Al-(1,2%) Si;
аргон газообразный, азот жидкий,
сжатый воздух.
Установка вакуумного
напыления типа "Оратория-
5"; многолучевой
интерферометр типа
МИСС. 
                                                                                                       Продолжение табл. П.2.
 1                       2                         3                   4                  5                       6
21 .   Фотолитография 7 для вскрытия
       окон под диффузию фосфора                                       Аналогично операции 3, а – з.
       (перед формированием n+-областей).
22 .   Диффузия фосфора для                 T, t, Мг   Внешний     Хлорокись фосфора (POCl3),
       формирования n+-областей (эмиттер-               вид, ρs,   кислород газообразный, азот
       ных, коллекторных приконтактных                    Xj ,     газообразный (или аргон), раствор
       областей и n+-областей                           h SiO2.    для выявления p - n перехода,
       инжекционных элементов):                                    травильный раствор, спирт
       а) 1-я стадия диффузии (загонка                             этиловый ректификат, вода            Аналогично операции 4.
       примеси при T=9500C) ;                                      деионизованная марки А; батист
       б) окисление в сухом O2                                     отбеленный мерсеризованный,
       (при повышении температуры в                                фильтр обеззоленный, алмазная
       рабочей зоне до T=10000C).                                  паста (на основе тонкого
                                                                   микропорошка).
23 .   Фотолитография 8 для вскрытия
                                                                   Аналогично операции 3 , а – з.
       окон под контакты к элементам БИС.
24 .   Нанесение                              p,
       (в вакууме)                        параметры, Внешний
                                                                                                  Установка вакуумного
       1-го слоя металлизации.            определяю    вид,
                                                                Мишень из сплава Al-(1,2%) Si; напыления типа "Оратория-
                                          щие режим толщина
                                                               аргон газообразный, азот жидкий,     5"; многолучевой
                                          осаждения    слоя
                                                                        сжатый воздух.             интерферометр типа
                                             слоя    металлиза
                                                                                                         МИСС.
                                          металлизац   ции.
                                              ии




                                                           126

Страницы